纳米真空互联实验站一期项目通过工艺专业组验收
2019-04-08 10:30   人浏览  

       3月28日上午,纳米真空互联实验站“工艺设备分项验收会”在中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所召开。来自中科院物理研究所、中科院兰州化物所、复旦大学、中国科技大学、南京大学的五位专家组成验收专家组,由中科院物理所郭建东研究员担任验收专家组组长,对纳米真空互联实验站一期项目的工艺设备进行了现场鉴定和验收。

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        验收专家组听取了项目建设进展汇报,审阅了《工艺设备验收大纲》、《工艺设备验收报告》等相关资料,并对照项目《工艺测试大纲》及相应指标进行实地测评验收,通过质询和讨论,验收专家组专家一致认为该项目的建设工作已经按照合同要求完成,实现了预期的工艺设备指标,同意通过工艺设备验收。

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       依据纳米真空互联实验站一期的总体设计方案和建设指标,实验站以真空管道互联多类型真空设备为核心特点,目前已经建成全长91米的超高真空管道,工作真空度达到8x10-8 Pa,极限真空度达到2x10-8 Pa,全部满足或优于设计指标;工艺设备与超高真空管道交接传递系统达到工艺测试大纲要求。实验站一期已初步建成包括材料生长、关键器件工艺、准原位表征分析技术在内的验证性研发平台。该平台已经实现了18套设备系统之间的真空互联,并处于正常工作状态。各系统功能相互补充支撑,形成了从材料制备到原型器件研发的工艺互联线,通过开展低维超导、能源、催化和宽禁带半导体四大方向的研究,对实验站一期的实用性、有效性进行了验证。结果表明,建成的互联系统满足上述方向的研究需求。

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       2014年4月,中科院与江苏省签署共建协议,纳米真空互联实验站一期项目小型验证装置总投资3.2亿元。中科院苏州纳米所作为承建单位,联合清华大学薛其坤院士团队、中科院大连化物所包信和院士团队,共同完成了这一超高真空环境下集材料制备、测试分析、器件加工基本功能于一体的、全面开放的科学研究和技术开发平台的建设。该平台在材料科学和技术、物理学、催化机理、能源材料等诸多领域将发挥重要作用,为我国科研界以及产业界的创新发展提供强有力的支持,有望成为国家解决关键技术“卡脖子”问题和发展从纳米制造到原子制造技术路线的先进研究基地。
  为了充分发挥装置作用,满足各领域研究及应用用户的迫切需求,专家们还建议在一期互联平台建设的基础上,增加更多功能的设备互联,进一步拓展系统功能,吸引更多的科研和产业用户,将纳米真空互联实验站建设成为国家重大科技基础设施。


编辑 凌小伦
2019年4月1日


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